使用突发模式超快激光直接对玻璃陶瓷进行微焊接和密封处理

《Optics & Laser Technology》:Direct microwelding and sealing of glass-ceramics with burst-mode ultrafast laser

【字体: 时间:2025年12月05日 来源:Optics & Laser Technology 4.6

编辑推荐:

  玻璃陶瓷超快激光微焊接及密封技术研究。采用突发式纳秒脉冲激光实现直接选择性焊接与密封,系统研究脉冲宽度、能量、焊接速度及焊线图案对界面融合的影响。通过优化激光参数和几何结构设计,在表面平整度仅半波长(632nm)的样品上实现泄漏率10?? Pa·m3/s的密封效果,验证了该技术在高精度光学器件制造中的高效性、高质性和无污染优势。

  
Manduo Yu|Jiachang Deng|Liang Wang|Jun Luo|Jiadong Liang|Feng Zhang|Yu Zhang|Wei Zhang|Jiang Wang|Guodong Zhang|Guanghua Cheng
西北工业大学人工智能、光学与电子学院(iOPEN),中国西安710072

摘要

玻璃陶瓷是一种透明、坚硬且脆性的材料,具有极低的热膨胀系数,在航空航天、精密光电子学等领域有着广泛的应用。研究高效、高质量的玻璃陶瓷焊接和密封技术已成为当前的重点。在本研究中,我们采用了超快激光微焊接技术对玻璃陶瓷进行了直接写入选择性焊接和密封。通过使用脉冲模式的超快激光,系统地探讨了脉冲持续时间、脉冲能量、焊接速度以及焊接线图案对界面材料熔合的影响。此外,还利用脉冲模式的超快激光对玻璃-陶瓷光学腔体进行了直接写入密封。样品的表面平整度仅为632纳米波长,实现了10?7 Pa·m3/s的密封泄漏率。这些结果表明,该技术在高效、高质量且无化学污染的光学腔体焊接和密封方面具有显著优势。

引言

玻璃陶瓷是一种通过玻璃结晶过程制备的新型复合材料,包含玻璃相和微晶相。这种独特的结构将玻璃的光学透明性与多晶陶瓷的机械强度相结合,同时具备出色的热稳定性(某些成分下的热膨胀系数接近零)、抗化学腐蚀性以及通过定制的晶相工程可调的物理化学性质[[1], [2], [3]]。与传统玻璃相比,玻璃陶瓷具有显著增强的机械强度、更优的抗热震性以及出色的耐磨性,使其能够很好地抵抗机械冲击。与陶瓷材料不同,它们保持了极高的透明度,可以通过铸造和压制等玻璃成形工艺灵活制造复杂的几何形状,并且缺陷密度更低、均匀性更高。这些特性使得玻璃陶瓷成为高精度光学(如天文望远镜镜面、激光陀螺腔体)、极端环境工程(如高温航空航天部件)、精密制造和消费电子等领域不可或缺的材料[[4], [5], [6]]。因此,在需要同时具备高机械性能和光学性能的恶劣环境中,玻璃陶瓷尤为关键。
在玻璃陶瓷的应用中,高质量的材料连接是一个重要的挑战。传统的粘合、钎焊等技术由于存在化学元素污染、易老化以及热机械性能匹配困难等问题,不适合用于玻璃-陶瓷器件的高质量焊接。虽然光学接触键合可以实现玻璃-陶瓷组件的焊接而不引入外来元素,但其缺点包括较低的键合强度、对样品表面质量的极高要求、高昂的处理成本以及低效率。因此,探索先进的焊接工艺具有重要的应用价值。
超快激光技术的发展使得可以直接对聚合物、玻璃和晶体等透明材料进行空间选择性焊接[[7], [8], [9], [10], [11], [12]]。利用激光照射的高峰值强度和短时间尺度,聚焦的超快激光可以在样品界面引发非线性能量沉积,产生局部高温高压条件,从而促进直接的界面熔合。最新研究表明,这种技术能够满足对高强度、高精度和无污染的微焊接和密封的要求[13,14]。值得注意的是,即使对于在可见光范围内不透明的半导体[15,16],也可以使用长波长超快激光实现高质量微焊接[17,18]。现有研究还表明,这种方法可以显著放宽对表面质量的要求,在相对宽松的表面准备和夹持条件下,实现剪切强度超过数十兆帕的焊接[[19], [20], [21], [22], [23]]。然而,超快激光焊接的质量受到多种因素的影响,包括激光的时空参数、材料属性和表面条件。系统研究这些耦合参数对于实现稳定、高质量的焊接至关重要。在这方面,超快激光焊接中引入了空间光束整形技术,以调节高重复频率下的激光焦场和热积累效应[24,25],从而显著改善了聚焦条件的放松、能量沉积的均匀性以及气蚀损伤的抑制。此外,时间光束整形技术还被用于生成超快激光焊接中的调制脉冲序列[[26], [27], [28], [29]],显著提高了键合强度和对熔池体积的控制能力。
考虑到脉冲间隔时间对能量沉积和材料热机械松弛行为的重要影响,本研究重点探讨了使用脉冲间隔为纳秒级的脉冲模式超快激光对玻璃陶瓷进行微焊接。我们讨论了脉冲能量、脉冲宽度以及扫描速度(决定激光脉冲的线性密度)对键合强度和焊接缺陷的影响。通过优化激光参数,进一步探索了通过定制焊接几何形状实现玻璃-陶瓷光学腔体高强度直接密封的过程。这项工作为航空航天和精密光学应用中高效、高质量、低成本地制造和封装玻璃-陶瓷组件奠定了基础。

实验部分

实验

实验中使用的玻璃-陶瓷样品为锂铝硅氧化物微晶玻璃基底(CDGM, LW1),尺寸为20 × 10 × 2 mm3。在0°C至50°C的温度范围内,其热膨胀系数约为1 × 10?8 /℃。样品的大表面经过机械抛光,达到了632纳米波长一半的平整度。在焊接过程中,将两个样品堆叠并用夹具固定,以实现界面的光学接触。

脉冲持续时间对材料改性的影响

首先讨论了脉冲模式中超快激光内部脉冲持续时间对玻璃陶瓷内部改性的影响。超快激光的重复频率固定为200 kHz,用于在玻璃-陶瓷样品中刻写嵌入式线条。脉冲能量固定为3.0 μJ,焊接速度(即激光焦点在样品内的移动速度)保持在0.75 mm/s。通过控制色散,激光脉冲持续时间从1.2 ps调节到7.2 ps。

结论

总之,本研究首次尝试探索将超快激光微焊接技术应用于玻璃陶瓷的直接选择性焊接和密封。实验中使用了脉冲模式的超快激光,每次脉冲包含5个超快激光脉冲,脉冲间隔为20 ns。与传统超快激光相比,这种脉冲模式配置不仅有效减轻了由于峰值过高导致的材料损伤

作者贡献声明

Manduo Yu:撰写 – 审稿与编辑,撰写 – 原稿,研究,数据管理。Jiachang Deng:撰写 – 审稿与编辑,研究,数据管理。Liang Wang:撰写 – 审稿与编辑,撰写 – 原稿,形式分析。Jun Luo:研究,数据管理。Jiadong Liang:可视化,数据管理。Feng Zhang:撰写 – 审稿与编辑,资源准备。Yu Zhang:撰写 – 审稿与编辑,资源准备。Wei Zhang:撰写 – 审稿与编辑,资源准备。Jiang Wang:

利益冲突声明

作者声明他们没有已知的可能会影响本文所述工作的财务利益或个人关系。

致谢

本研究得到了国家重点研发计划(2024YFB4609200)和国家自然科学基金(U24A20125)的支持。
相关新闻
生物通微信公众号
微信
新浪微博
  • 搜索
  • 国际
  • 国内
  • 人物
  • 产业
  • 热点
  • 科普
  • 急聘职位
  • 高薪职位

知名企业招聘

热点排行

    今日动态 | 人才市场 | 新技术专栏 | 中国科学人 | 云展台 | BioHot | 云讲堂直播 | 会展中心 | 特价专栏 | 技术快讯 | 免费试用

    版权所有 生物通

    Copyright© eBiotrade.com, All Rights Reserved

    联系信箱:

    粤ICP备09063491号